化學過濾器在芯片廠中有多種應用，主要用于處理工藝廢氣和廢水，確保生產環境符合環保標準。具體來說，它們可以用于：

廢氣處理：芯片制造過程中會產生各種有機氣體、溶劑蒸汽和腐蝕性氣體等廢氣。化學過濾器通過吸附、吸收、催化氧化等方法將這些有害物質去除或轉化為無害物質，保證排放達標。

廢水處理：芯片生產中的清洗、蝕刻、光刻等步驟會生成含有重金屬離子、有機物等的廢水。化學過濾器通過吸附樹脂、離子交換樹脂等技術，去除廢水中的污染物質，達到排放要求或循環利用的水質要求。

空氣凈化：在潔凈室內，芯片制造需要嚴格控制空氣中的微粒和微生物，化學過濾器可以作為空氣處理系統的一部分，幫助保持潔凈室的高純度環境。